催化燃燒廢氣處理設備內設加熱室、蓄熱室，啟動加熱裝置，專業生產光氧設備進入內部循環，當熱氣源達到有機物的沸點時，有機物從活性炭內跑出來，進入催化室進行催化分解成CO2和H2O，同時釋放出能量。利用釋放出的能量進入吸附床脫附時，此時加熱裝置完全停止工作，有機廢氣在催化燃燒室內維持自燃，光氧設備廠尾氣再生，循環進行，直至有機物完全從活性炭內部分離，至催化室分解。余熱經過蓄熱床進行回收，便于下次加熱及余熱，能量回收效率高，能耗小，活性炭得到了再生，有機物得到催化分解處理。

催化燃燒設備采用多氣路連續工作，多個活性炭吸附箱交替工作，專業生產光氧設備一個催化燃燒室。活性炭吸附箱對廢氣進行吸附，當快達到飽和時停止吸附操作，馬上進行脫附處理。同時第二個活性炭吸附箱進行吸附濃縮，光氧設備廠當快達到飽和時停止吸附操作，馬上進行脫附處理。 依此類推，以后的幾套活性炭吸附箱進行與首套活性炭吸附箱相同的吸附脫附過程。這些脫附下來的有機廢氣已被濃縮（濃度較原來提高幾十倍）并送入催化燃燒室進行催化燃燒，在催化劑上250～350℃的高溫條件下進行催化氧化反應，即“燃燒”，使有機廢氣轉化為無害的CO2和H2O排出。當有機廢氣濃度達到2000PPm以上時，有機廢氣在催化床可維持自然，不用外加熱，燃燒后的尾氣大部分排出大氣。

催化燃燒設備是一種類似熱氧化的方式來處理VOC的, 它凈化有機物是用鉑、鈀等貴金屬催化劑及過渡金屬氧化物催化劑來代替火焰，專業生產光氧設備操作溫度較熱氧化低一半，通常為250 ℃～500 ℃。由于溫度降低，允許使用標準材料來代替昂貴的特殊材料，大大地降低設備費用和操作費用。與熱氧化相似，光氧設備廠系統仍可分為間壁式催化燃燒和蓄熱式催化燃燒兩類熱量回收方式。

催化燃燒廢氣處理設備包括預熱、催化反應、熱回收三個基本流程。工業排放的VOC廢氣的溫度通常較低，進入催化反應床之前需要預熱，專業生產光氧設備通常采用熱交換器預熱。對于低濃度、低溫度的VOC廢氣，燃燒過程無法維持自身熱平衡，需要消耗輔助燃料。預熱后的VOC廢氣進入催化反應床，在催化劑表面發生無焰燃燒，被徹底氧化并釋放出大量熱能。凈化后的氣流具有很高的溫度，光氧設備廠采用熱交換器回收能量，以供VOC廢氣預熱之用，減少輔助燃料的消耗和避免對環境造成熱污染。國內外工程化應用的VOCS廢氣催化燃燒工藝主要有蓄熱式催化燃燒、熱回收式催化燃燒、直燃式催化燃燒、吸附濃縮-催化燃燒，一恒除塵生產的催化燃燒是吸附濃縮-催化燃燒。